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第138章 MOCVD

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    奉天科仪,三楼大会议室

    “怎么样?小陈同学休息好了吗?”刘民学厂长关心的问道。

    “我没事了。”陈泉的脸色已经恢复正常。“估计是昨天坐车时间太长,再加上休息不好。眯一会就好了。”

    “那就好。那就好。”科仪的几位科长,都长长舒了一口气。

    在参观的过程中,陈泉的脸色是越来越差。这让对考察报以厚望的主人们,心都悬了起来。他们搞不清楚,陈泉的脸色差,是因为身体原因,还是单纯的不满。

    “希望这次意外,不会影响到对我们厂的评价。”

    刘厂长还是有些不放心。

    “没事,陈泉他的身体就是这样。毕竟年龄小,底子薄。”王湛乐呵呵的安抚。“但年轻人嘛,恢复得也快。不要介意。”

    “那好,让我重新介绍吧。”

    刘民学咳嗽了一声,吸引了所有人的注意。

    创建于1958年的奉天科仪,属于集成电路装备和真空仪器设备领域的先行军。在一切自力更生的年代,有过辉煌的历史。

    随着国门的打开,在进口产品的降维冲击下,奉天科仪的形式急转直下。

    随着价格双轨制的取消,这两年奉天各企业的经济形势普遍向好,所以奉天科仪也在积极转型,例如进军农业机械市场,但效果越来越差。

    ......

    “不知道,我们的这些介绍,是否足够详细?”刘民学厂长最后问。

    “不错,不错。够了,够了。”

    王湛已经在奉天两天了,对科仪的印像很是不错。

    除了厂家本身的实力,也有容易配合的考量。毕竟其他设备厂家离冰城太远,沟通不方便。不说时间上的浪费,长途火车票也是紧俏物资的一种,不是想买就能买到的。

    “在MOCVD领域,你们有什么积累吗?”

    陈泉突然问到。奉天科仪的介绍,始终围绕着PVD类产品进行。

    “MOCVD?”

    刘民学有点意外,然后把目光投向了技术科科长王青山。这个领域,他并不熟悉。

    “据我所知,MOCVD技术并不成熟,市面上好像还没有类似的产品吧。”

    王青山有点不太确定。

    MOCVD是从VPE基础上发展起来的新技术。

    在MOCVD技术中,反应气体在高温下结合,形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应,形成材料和化合物半导体的外延。

    不同于传统的硅半导体,这些半导体可以包含的组合III族和V族,II族和VI族,IV族或第IV族,V和VI族的元素。

    MOCVD相关理论提出得很早,但真正走入实际验证,不过是近几年的事情。有一些厂家,自行改造定制MOCVD,但相关技术和产品,远远没有成熟到可以商用的程度。

    “你想在MEMS中,弃用PVD,转用MOCVD设备?”王湛听到消息,也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗?MEMS工艺要做大的修改吗?”

    “嗯,怎么说呢......”

    陈泉陷入了沉思。

    蓝光LED之所以在红光,绿光LED面世二十年之后,还不能量产,就是因为遇到难以克服的困难。

    在蓝光LED领域,人类的最早研究,走的是GaN路线。但GaN的合成太困难。

    另外,科研人员还发现,GaN除了具有很高的缺陷密度,因此,大多数人都转向了其他技术方向。

    目前市场上,有些低亮度的蓝光LED商品售卖,其走的是SiC路线。但这条路线,从原理上,发光效率就不高。

    因此大量的研究人员,又转向了ZnSe材料。ZnSe材料,无论是理论,还是实际发光效率,都取得了很大进展,但这条路线始终面对一个令人头疼的问题,那就是产品寿命。

    蓝光LED的几条技术路线,每条都有自己不同的困难,全都被卡住了。

    而‘他’就是通过定制MOCVD的方式,另辟蹊径,解决了GaN的制备问题。

    ......

    “我和陈泉想定制两台MOCVD设备,做些预研。这部分研究工作,不会影响到MEMS产线的建设工作。”了解内情的曲燕秋,干脆把话接了过去。

    “不影响到MEMS建厂,那就没有问题了。”

    王湛长出一口气。如果工艺不停的变来变去,他的工作也很难做。

    “而且我希望,这个定制设备的制造工作,就交给奉天科仪。”

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