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第九十一章 深硅刻蚀工艺

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    “哦?都有哪些传感器?”

    孙厂长坐直了身体。

    “到目前为止,思路已经成熟的,除了上次展示过的加速度传感器,简单一些的压力传感器,水平传感器,还有飞机上会用到的高度传感器,空速传感器......”

    陈泉在黑板上,连续写下了一长串的名字。

    既然明白了“他”做的东西,都是传感器,再去寻找那二十多个实验的目的,就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构,陈泉还是摸不清头绪,但其中不少结构,每个实际可以有多种用途。

    更不提,“他”提供了好几种通用结构。

    所以,有些传感器,是原来“他”实验里包括的,但也有不少,是陈泉跟赵薇薇讨论后,自行扩展出来的。原理搞清楚了,可以很容易的举一反三。

    “还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”

    “陀螺仪?陀螺仪也能用MEMS技术加工出来吗?”

    刘院长身边的中年人,站了起来。

    陀螺仪在很多场合,都是核心传感器。

    “您是?”

    孙厂长回头询问。

    “我是跟老刘一起来的,你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名,其他人互相看了一眼,也就不问了。

    “你还没有回答我的问题呢?小伙子!”

    “哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂,我还特意带来了它的模型。”

    陈泉一摆手,曲燕秋就托着一套,由纸壳做的简陋样品,走上讲台。

    -------

    微电子实验室。

    “你的手抖什么抖啊?这块晶圆片算是废了!”

    张栋被气得浑身发抖。“你知道,这块晶圆片值多少钱吗?加上刚才消耗的各种药水,制剂,一百元!让你一抖,就这么没了!”

    “没有全废吧。那一半不是还能用吗?”

    自知犯了大错的成兴,试图分辨。

    1989年的冰城,学生生活费,50元一个月能吃饱,100元,绝对能吃好。

    “哦,天啊!我真是受够了。”

    张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意!让这些连课都没上过的新生,做半导体实验?”

    “老张,有点耐心。”

    在旁边工作台做实验的科研人员,边操作,边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样,一看就会,一听就懂的。”

    “老师,让我们两个人一组吧。这次我们小心点。”

    云丽上前一步。

    有了台阶下,张栋的态度好了一点。“行,你跟成兴一组,于耀赢跟李季一组。剩下的冯言,自己一组。”

    被训得满脸通红的成兴,感激的看了一眼,身边不起眼的同班女生。

    在MEMS小组内,人虽然不多,但隐隐分成了几派。

    于耀赢,李季,都是陈泉和曲燕秋的嫡系,而冯言,干脆是陈泉二人的干姐姐,前些天发表的中文综述,还捞到了署名,心态都比较好。

    而云丽和成兴,被拉入小组,完全不知道背后的原因,比较忐忑,做事情也有些畏首畏尾。

    由于相似的处境,两个人最近有点抱团取暖的意思。

    ----------

    会议室。

    看到样品,感兴趣的客人,纷纷离开座位,围了过去。

    “这不对吧。”

    王工上上下下,里里外外的把样品看个通透。

    “什么不对?”

    冰飞的周总工,就在他的身边。

    “这种结构,以现在的MEMS工艺,根本加工不出来吧。”

    王工把模型举了起来,抬高到跟视线平齐。“我记得,MEMS所采用的牺牲层工艺,根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”

    牺牲层技术(工艺),1985年才被引入到半导体加工领域,“表面”微机械加工概念由此产生。之所以,1988年,震惊世界的微静电马达能够问世,就是拜牺牲层技术所赐。

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